Class 100
Kammer, Steuerung und Beschickung nach dem Prozess vor Ort.
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Reinraumofen
MOL-3 Klasse 100 Unstaubfreier Ofen
MOL-3 Klasse 100 staublose Öfen, Modell MOL-3; Konfiguration kann durch Prozess, Größe und Produktionslinienanforderungen identifiziert werden.
Highlights
Reinraum-Ausheizen
Kammer, Steuerung und Beschickung nach dem Prozess vor Ort.
Effizienter Filter
Kammer, Steuerung und Beschickung nach dem Prozess vor Ort.
Überblick
Die Reinraumöfen der Baureihe MOL arbeiten mit einem Luftwechselsystem mit Hochleistungsfiltern und eignen sich für Heiz-, Aushärte- und Trocknungsprozesse mit Reinheitsanforderungen.
Kenndaten
TemperaturbereichRaumtemperatur +15℃ bis 200℃ / 350℃
ReinraumklasseClass 100
Temperaturschwankung±0.1℃ bei 100℃; ±0.2℃ bei 200℃
Temperaturhomogenität±1.5℃ bei 100℃; ±3℃ bei 200℃
FilterHitzebeständige 99.99% Hochleistungsfilter am Lufteinlass und in den Luftkanälen der Kammer
StromversorgungAC380V dreiphasig 50Hz (nach Bedarf konfigurierbar)
Prozess / Branche
- Halbleiter
- Elektronisches Element
- Präzisionsfertigung
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