Les étuves de précision font généralement circuler l'air horizontalement ou verticalement. Pour un intérieur sans poussière, un filtre haute température à haute efficacité (classe 1000 ou classe 100) est ajouté à la sortie d'air. Après passage par la reprise d'air, une partie de l'air est évacuée par la sortie d'extraction, le reste est réchauffé dans le canal de recirculation puis revient dans l'enceinte à travers le filtre.
Outre la filtration de l'air, il faut limiter autant que possible la poussière générée en fonctionnement, ce qui impose des matériaux et composants électriques haut de gamme ; par exemple, les tubes chauffants ne doivent pas libérer de particules à haute température.
Attention : il vaut mieux ne pas utiliser l'étuve longtemps hors d'une salle blanche ; l'air contient beaucoup de particules et un usage prolongé réduit fortement la durée de vie du filtre.
Spécifications courantes des étuves pour salle blanche de Dongguan Xinzhou / Hubei Xinhai, à titre indicatif :
