Validierungsplan zur vollständigen Blasenentfernung mit dem Xinhai Die-Bond-Ofen mit Über- und Unterdruck
Vereinfachter DOE-Plan zur Prüfung vollständiger Entschäumung an Xinhai Positiv/Negativdruck-Die-Bond-Öfen
1. Kernziel
“ vacuum - - - ” = 0
2. Vereinfachtes Variablendesign (Fokus auf die wichtigsten Einflussfaktoren)
and “ ”
Variablentyp
Variablenname
Probeneinstellungen
Zweck (Simulation unterschiedlicher anfänglicher Blasenrisiken)
Vorbehandlung
Flussmittelrückstände
① Ungewaschen (hoher Rückstand); ② Gewaschen (niedriger Rückstand)
Prüft, wie gut die Anlage Blasen aus ausgasendem Flussmittel entfernt
Vorbehandlung
Restfeuchte im Substrat
① nicht vorgebacken (hohe Feuchte); ② 150 °C / 60 min (geringe Feuchte)
Prüft, wie gut die Anlage Blasen aus verdampfender Feuchte entfernt
Underfill-Eigenschaften
Fließfähigkeit des Klebstoffs
① Hohe Viskosität (schließt Blasen ein); ② Niedrige Viskosität (leichter entgasen)
Prüft, wie gut die Anlage kapillar eingeschlossene Blasen entfernt
3. Versuchsschritte passend zum Xinhai-Prozessablauf (zentrale Validierungslogik)
Benutzerprozess strikt einhalten und den Bezug jedes Schritts zur Entschäumung klären:
vacuum 100Pa 10
Rolle: Sauerstoffspülung + erstes Entfernen freier Blasen (Oberfläche/flach).
hot-air 100℃ Tg 1.5
Zweck: Klebstofffluss nutzen, damit eingeschlossene Mikroblasen aufsteigen / sich sammeln (Vorbereitung zur Entgasung).
vacuum + → 100℃ 30
Rolle: mit Vakuum + Temperaturregelung ~90% der Blasen entfernen (auch aus Flussmittel/Feuchte).
5kg / cm² → 150℃
Wirkung: Hoher Druck komprimiert verbliebene Mikroblasen, die Aushärtung fixiert anschließend den blasenfreien Zustand.
“ ”
“ + ”
SAT-Ultraschallprüfung (C-SAM) / Röntgen: alle Proben prüfen und bestätigen, dass keine inneren Hohlräume vorhanden sind (auch an der Chip-Substrat-Grenzfläche und in der Klebstoffschicht).
Schnittmikroskopie (200-500x): aus SAT-bestanden Proben zufällig 3 Schnitte, Blasen zählen (Soll: Blasenzahl = 0).
5. Validierungslogik der Versuchsergebnisse
Wenn alle Variablenkombinationen (3 Variablentypen x 2 Probenahmen = 8 Läufe, je 6 Stück) den Ablauf bestehen und erfüllen:
Keinerlei Blasensignal in den SAT-Bildern;
Schnittbeobachtung: Blasenanzahl = 0;
“ vacuum - - - ”
hot-air oven hot-air vacuum oven vacuum oven “ vacuum - hot-air - vacuum and - ”
