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Mehrkammer

XZK-2F-3D Dreikammer-Vakuum-Leckprüfofen, drei Steuerungen

Drei unabhängig gesteuerte Kammern für parallele Leckprüfung unterschiedlicher Chargen.

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Highlights

Mehrkammer

Kammer, Steuerung und Beschickung nach dem Prozess vor Ort.

Temperatur

Stabile Temperaturregelung für enge Prozessfenster.

Vakuum

Kontrollierter Vakuum- und Atmosphärenwechsel für Trocknung, Stickstoffspülung und Dichtheitsprüfungen.

Kenndaten

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Prozess / Branche

  • Elektronisches Element
  • Halbleiter
  • Elektronische Fertigung

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